测量项目
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点、直线、圆、部分圆、椭圆、圆弧处理(圆弧半径、圆心距、圆心到直线的距离、
交点到圆心的距离等)、最大点、最小点、距离、角度处理(坐标夹角、直线夹角)、
直线度、槽深、槽宽、沟边距、沟心距、水平距、凸度(对数曲线)、轮廓度等参数
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X轴(横导轨)
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100mm
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Z1轴(传感器)
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20mm
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Z轴(立柱)
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400mm
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X轴(L=X轴导轨移动距离)
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±(1+2L/100) μm
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Z1轴(H=Z1轴方向测量高度)
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±(1.8+3H/100) μm
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直线度
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0.2μm /60mm
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光栅分辨率
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0.1μm
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光栅产地
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进口
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分辨率
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0.02μm
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传感器类型
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电感传感器
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产地
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进口
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移动方向
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前/后 双方向
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测力
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0.01-0.06N
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测针针尖
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硬质合金 R:0.05mm、0.01mm
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爬坡角度
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上升77度 下降88度
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测量速度
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0.02mm/s,0.05mm/s,0.1mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,4.0mm/s(8个)
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定位速度
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0.02mm/s,0.05mm/s,0.2m/s,0.5mm/s,1.0mm/s,2.0mm/s,3.0mm/s,4.0mm/s(8个)
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图形放大
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可任意缩小、放大
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A型综合调整台
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X轴水平倾斜调整范围:±30°,Y轴方向调整范围:±7.5mm,Z轴回转可调360度(带微调装置)
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B型综合调整台
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X轴水平倾斜调整范围:0-60°,Yθ1:0-1.5度,Zθ1:0-2.5度,Zθ2:0-1.5度
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电源
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220-240V AC, 50HZ,单独地线;最大功率消耗450W
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压缩空气
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纯净压缩空气:气压0.4MP,消耗0.1m³ /min (气源供给0.6MP,0.25m³ /min以上)
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环境要求
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工作温度:10°-30°(常温);湿度20-80%RH(无结露),良好地线,无明显振源
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